微振動制御装置

今日の高度先端技術は微細化・精密化への傾向があります。その中で半導体製造施設の精密機器（加工・検査）などに対して微振動対策が重要となっています。精密機器の振動は、床外乱（外部の交通振動や内部の作業・歩行振動など設置床から伝わる振動）だけでなく、直接外乱（機器発生力、空気流、音など）によって生じるものもあり、これらの微振動を低減する必要があります。
微振動制御装置は振動を計測し、制御力で振動を低減させるアクティブ型の装置で、低周波数領域の床から伝わる振動を絶縁（除振）し、直接外乱に対して生じる振動を速やかに低減（制振）させることができます。