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FUJITA DaiwaHouse Group

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微振動制御システム「F・LAPUTA」

課題:
快適・豊かな空間を造りたい
施設用途:
事務所・庁舎生産施設教育・文化
技術:
建築技術制振技術

技術概要

 今日の高度先端技術は微細化・精密化への傾向があります。その中で半導体製造施設の精密機器(加工・検査)などに対して微振動対策が重要となっています。精密機器の振動は、床外乱(外部の交通振動や内部の作業・歩行振動など設置床から伝わる振動)だけでなく、直接外乱(機器発生力、空気流、音など)によって生じるものも有り、これらの微振動を制御・低減するためにはアクティブ型微振動制御装置(一般に除振装置とも呼ばれます)が必要となります。当社の微振動制御装置は、アクティブ型微振動制御装置で「F・LAPUTA(フラピタ)」と呼びます。1ヘルツ程度以下の低周波数領域の床から伝わる振動を除振し、直接外乱に対して生じる振動を速やかに低減させることができます。

特徴

① 鉄骨造で半導体製造施設を建設することができ、工期短縮とローコスト化が図られます。
② 設置床からの振動を1/3~1/10に低減し、直接作用する力で定盤が振動しても瞬時に小さく抑えます。
③ 制御装置に超磁歪材料を使用しているため、装置がコンパクトで応答が速く、耐久性に優れています。
③ 空気ばねで精密機器および定盤を支持するため、様々な大きさ、重量の積載機器にも対応できます。

実績

1998年にNEC府中工場内のFIB装置に適用(現在NECつくば研究所へ移設)、その後、富士通岩手工場内の精密機器(SEM、FIB)に適用。

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